полирование

ПОЛИРОВАНИЕ (от лат. polio — делаю гладким)

чистовая обработка поверхности разл. материалов для уменьшения ее шероховатости (высоты микронеровностей) до величины менее 0,1 мкм, создания определенных свойств (высокого коэф. отражения, декоративного блеска), очистки от загрязнений, получения точных размеров изделия и ненарушенной структуры приповерхностного слоя материала. П. осуществляют: локальным срезанием тончайших слоев материала абразивными зернами, закрепленными в полировальнике или эластичной ленте (механическое П.); растворением в полирующих травителях (химическое П.); совместным хим. и мех. воздействием на обрабатываемую поверхность спец. суспензий (химико-механическое П., используется при обработке полупроводниковых и некоторых др. материалов); электролитич. травлением (электрохимическое П.); хим. реакциями с газовыми травителями (газовое химическое П.).

Механическое П. используют в машино- и приборостроении для обработки деталей из металлов, сплавов, оптич. стекла, пластмасс, в микроэлектронике для обработки заготовок из полупроводниковых и диэлектрич. материалов и материалов подложек. Плоские заготовки наклеивают на планшайбы и затем устанавливают на приводимый во вращение полировальник-диск, покрытый тканым (сукно, батист, сатин) или нетканым (искусств. кожа, замша, полиуретан) материалом. Он должен иметь высокую износо- и теплостойкость и обеспечивать закрепление абразивных зерен в своих порах или ворсе. На полировальник наносят абразивную суспензию, приготовленную на основе порошков алмаза, карбидов В₄С и SiC, корунда Al₂O₃, оксидов Fe₂O₃, CeO₂ и Cr₂O₃ с размером зерен от 0,2 до 5 мкм. При механическом П. деталей круглой или сложной формы применяют цилиндрич. полировальники или эластичные ленты.

Химическое П. осуществляют во вращающейся вокруг своей оси заполненной травителем емкости, в которую загружают одну или неск. заготовок, а также др. способами.

Химико-механическое П. проводят так же, как механическое П., но суспензии приготовляют на основе порошков SiO₂ и ZrO₂, взвешенных в растворах щелочей. Щелочи с обрабатываемым материалом образуют соед. с меньшей твердостью, чем сам материал, которые удаляются при контакте с полировальником и абразивными зернами.

Электрохимическое П. проводят в ваннах с растворами щелочей, кислот и солей, пропуская электрич. ток через анод-заготовку и электролит.

Газовое химическое П. используют для удаления с поверхности кремниевых пластин загрязнений и слоя материала с нарушенной структурой. В реактор подают галогенсодер-жащие газы, напр. HCl, и в результате реакции Si + 4HCl → SiCl₄ + 2H₂ при температуре ок. 1200 °C происходит травление кремния.

• см. также полироли, травление

_{С. Н. Никифорова-Денисова}